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簡單(dān)來(lái)說(shuō):電容式(shì)壓力(lì)變(biàn)送(sòng)器的(dí)傳感器(qì)也就(jiù)是(shì)敏(mǐn)感元件(jiàn)是電容,壓力改(gǎi)變(biàn)時,敏感(gǎn)元件(jiàn)的(dí)電容容量發生變化(huà)。擴(kuò)散矽壓力變(biàn)送(sòng)器(qì)的敏感元(yuán)件是擴散(sàn)型矽(guī)壓阻(zǔ)芯片,當壓力改變時(shí),擴散(sàn)矽(guī)的(dí)阻值發(fā)生(shēng)變(biàn)化(huà)。
ZX-3051GP電容式(shì)壓力(lì)變送器通過檢(jiǎn)測(cè)中心測量膜(mó)片(piàn)與兩(liǎng)側測量室壁之間的(dí)電(diàn)容(róng)變(biàn)化(huà)來判(pàn)別(bié)膜片受(shòu)壓(yā)位(wèi)移狀(zhuàng)況(kuàng)。ZX-801A擴(kuò)散(sàn)矽(guī)壓(yā)力變送(sòng)器(qì)有兩類(lèi),其中(zhōng)一(yī)類是(shì)將擴(kuò)散(sàn)矽(guī)電(diàn)橋植入到檢測(cè)中心測量(liáng)膜片(piàn)上來(lái)判別膜片(piàn)受(shòu)壓(yā)位(wèi)移狀況。以上(shàng)兩(liǎng)種由(yóu)於是直(zhí)接(jiē)測(cè)量中心測(cè)量(liáng)膜(mó)片(被測(cè)壓力直(zhí)接作用處(chǔ))的位移(yí)。且測量膜(mó)片可以加上巨大(dà)的預(yù)應(yīng)張(zhāng)力(lì),使得(dé)金屬膜片(piàn)位(wèi)移所導致的應力(lì)影(yǐng)響極小。所以(yǐ)精度較(jiào)高(gāo)。另一種擴散(sàn)矽壓力(lì)變送器是將測(cè)量(liáng)膜片感受的力傳導(dǎo)到一(yī)個擴(kuò)散矽(guī)傳感器(qì),通過(guò)擴散矽傳感器(qì)的(dí)輸出(chū)來得(dé)出被測壓力。由於壓(yā)力不是作(zuò)用(yòng)在傳感(gǎn)器上(shàng)而是加(jiā)了(liǎo)一次傳(chuán)遞(dì),所以相(xiāng)對精(jīng)度(dù)低一些,且擴散矽(guī)元件品質不一(多數(shù)變送器廠家(jiā)不是(shì)自(zì)己生(shēng)產擴(kuò)散矽元件(jiàn))導(dǎo)致質量差別很(hěn)大(dà)。但(dàn)是,但(dàn)是價(jià)格可(kě)以很(hěn)低。
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